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电力金具新产品亮相2017深圳电力电工展览会

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总体而言,圳电外延薄膜一般是取向均一的单相,圳电且内部晶界数目少,见图6,这有利于减少多晶薄膜中因相变而致的唤醒效应及晶界处氧空位富集而导致的疲劳效应,见表2。图6  HZO外延膜结构及薄膜与衬底LSMO/STO的外延取向关系 ©2022TheAuthors表2. 多晶和外延HfO2薄膜铁电性能对比 ©2022TheAuthors五、力电览【成果启示】最后,力电览作者展望了HfO2铁电薄膜研究中仍存在的科学问题。

这个问题最终被中科院微电子所的研究人员突破,工展他们利用球差校正的扫描透射电子显微镜(STEM),工展分别通过高角环形暗场(HAADF)及环形明场(ABF)成像技术,实现锆(Zr)掺杂的HfO2(Hf0.5Zr0.5O2,HZO)薄膜铁电相的Hf/Zr及O原子阵列成像,见图1(d-e),确定了Pca21相是其中一种铁电相。三、电力【核心创新点】√ 从结构–性能一体的角度,总结了HfO2薄膜中不同微结构特征与铁电性的对应关系√ 生长参数/外部激励对于HfO2薄膜内部微结构演化的作用规律四、电力【数据概览】要点一HfO2薄膜铁电相鉴别由于HfO2的热力学稳定相均为中心对称的晶体结构,最初在HfO2薄膜中观测到铁电性似乎是一件不可思议的事情。

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